Micro LED巨量转移设备
该设备用于Micro LED的巨量转移工艺，采用高性能激光器，配合自主研发光学系统、上下基板对位系统，可很好地实现晶粒批量转移，保证加工品质及效率。
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01设备配备高精度运动平台及高精密调节平台，上下基板一键调平，保证产品转移精度
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02设备配备高性能紫外激光器，自主开发高指向性光路系统，光斑大小可调，可应对不同尺寸产品的转移
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03设备采用高精度振镜加远心场镜加工系统，加工效率高，可进行选择性转移，灵活度高
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设备展示
基本信息
- 1. 适用产品：Micro LED晶圆转移
- 2. 激光器：定制红外激光器
- 3. 可键合晶粒尺寸：10×10μm-100×100μm
- 4. 转移精度：偏转角度＜±2° 落位精度＜±2μm
- 5. 加工方式：全自动
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